1998

Heiner Ryssel

Exner-Laureat Heiner Ryssel ist Professor für Elektrotechnik an der Universität Erlangen-Nürnberg und leitet das Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen (IIS-B) in Erlangen. Ryssel beschäftigt sich mit Ionenimplantationen, Prozesssimulationen, CMOS-Technologieentwicklung sowie mit Tribologie, der Wissenschaft von Reibung, Verschleiß und Schmierung. Das von Ryssel geleitete Fraunhofer-Institut entwickelt gemeinsam mit der und für die Industrie neue Halbleiter-Fertigungsgeräte und -verfahren und stellt Simulationswerkzeuge zur Beschreibung moderner mikroelektronischer Fertigungsschritte bereit. Als Kompetenzzentrum für Leistungselektronik entwickelt das Fraunhofer- Institut für Integrierte Schaltungen darüber hinaus leistungselektronische Bauelemente und Systeme – von Einzeldioden bis hin zu kompletten Prototypen für Schaltnetzteile wie beispielsweise Frequenzumrichter.

Im Arbeitsgebiet Technologiesimulation hingegen werden leistungsfähige Simulationsprogramme zur Optimierung von Einzelprozessen und Prozessfolgen in der Halbleitertechnologie entwickelt. Halbleiterfi rmen und andere Anwender erfahren Unterstützung, beispielsweise durch Simulationen bei der Bauelemente-Entwicklung. Darüber hinaus ist es Aufgabenschwerpunkt des von Ryssel geleiteten Instituts, Unternehmen bei der Prozessoptimierung zu unterstützen. Was das Arbeitsgebiet Leistungselektronische Systeme betrifft, werden von diesem Institut in enger Zusammenarbeit mit industriellen Auftraggebern Prototypen und Demonstratoren für leistungselektronische Systeme entwickelt. Aber auch im Bereich Kristallzüchtung werden Firmen bei der Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Prozessen zur Herstellung von Kristallen für die Mikroelektronik und Mikrolithographie unterstützt. Weitere Schwerpunkte sind die Entwicklung, Anwendung und Lizenzvergabe von Simulationsprogrammen zur Berechnung von Hochtemperaturanlagen und -prozessen sowie die Entwicklung und Anwendung von Messtechniken zur Bestimmung des Stoff- und Wärmetransportes bei Kristallzüchtungsprozessen.

Heiner Ryssel studierte an der Technischen Universität München und schloss sein Studium im Jahr 1967 ab, sechs Jahre später promovierte er an der TU München. Beim Fraunhofer-Institut arbeitet Ryssel bereits seit dem Jahr 1973. Er habilitierte sich im Jahr 1985 an der Technischen Universität München und wurde im gleichen Jahr auch an die Universität Erlangen berufen.

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